Макс. напряжение трубки: | 110 кВ |
Фокальное пятно: | 5 мкм |
Рентгенозащитная камера со сдвижной ручной дверью для загрузки образца |
Микрофокусная рентгеновская трубка закрытого типа Hamamatsu, Япония |
Плоскопанельный рентгеновский детектор (FPD) |
Производитель детектора Toshiba, Япония |
Дополнительная видеокамера для отображения образца на столе и перехода в заданную точку посредством мыши, лазерная указка |
Многофункциональная станция обработки изображений (ПО) |
Функция сохранения программы (параметры kV, mA, положение осей и настроек изображения) для инспекции серии одинаковых образцов в указанном месте |
Диапазон напряжений на катоде (регулируемый): |
от 0 до 110 кВ |
Диапазон тока пучка электронов (регулируемый) |
0-227 мкА |
Размер фокального пятна: |
5 мкм |
Максимальная мощность трубки: |
25 Вт |
Разрешение детектора: |
101 пар линий/см |
Рабочая область детектора: |
130×130 мм |
Перемещение по 6 осям: |
Z – рентгеновская трубка, Y и Tilt (±55°) – детектор, вращение стола 360°, X/Z - детектор |
Максимальное увеличение: |
1000 х |
Максимальный размер инспектируемого образца: |
450x450 мм |
Максимальный размер поля для образца: |
⌀570 мм |
Максимальный вес образца: |
10 кг |
Промышленный ПК на базе: |
ОС Windows |
Монитор: |
LCD 22'' |
Размеры системы: |
1370х1300х1700 мм |
Вес системы: |
1600 кг |
Напряжение: |
220 В, одна фаза, 50 Гц |
Потребляемая мощность: |
2 кВт |
Радиация: |
< 1мкЗв/час |
Температура в помещении: | 0-40°C |
Влажность в помещении: | 30-70% |