| Перемещение рабочего стола с ПП по осям X/Y | ||||
| Перемещение детектора по оси Z, наклон, перемещение вокруг инспетируемой области | ||||
| Ручной и автоматический режимы работы | ||||
| Сохранение результатов инспекции | ||||
| Регулировка ширины конвейера | ||||
| Интерфейс SMEMA |
| Тип трубки | открытая |
| Напряжение трубки | 20-160 кВ |
| Максимальный ток трубки | 1000 мкА |
| Максимальная мощность трубки | 64 Вт |
| Мощность на мишени | 15 Вт |
| Угол луча | 170° |
| Фокальное расстояние (FOD) | <300 мкм |
| Максимальное разрешение (режим Nanometer) | <0,9 мкм |
| Максимальное разрешение (режим Nano2) | <0,6 мкм |
| Максимальное разрешение (режим Micron) | <2 мкм |
| Максимальное разрешение (режим High power) | <5 мкм |
| Тип детектора | плоскопанельный (FPD) |
| Поле зрения детектора (FOV) | 130х130 мм |
| Пиксельная матрица | 1536х1536 |
| Разрешение детектора | 5,8 пар линий/мм |
| Частота кадров изображения | 20 кадр/с |
| Разрешение камеры | 1080p (1920×1080) |
| Частота кадров | 30FPS |
| Угол обзора | 90° |
| Режим фокусировки | автофокус |
| Цифровое увеличение | 4х |
| Габариты ПП | 50х50 - 610х510 мм |
| Толщина ПП | 1-30 мм |
| Фиксация краев ПП | ≥12 мм |
| Максимальный вес платы | 30 кг |
| Скорость конвейера | 0-500 мм/с |
| Зазор над/под ПП | 180/70 мм |
| Увеличение изображения | 4800х |
| Угол поворота детектора | 60° |
| Вращения изображения | 360° |
| Перемещение детектора по оси Z | 0-260 мм |
| Перемещение детектора по оси X/Y | 0-200 мм |
| Тип конвейера | роликовый |
| Ширина конвейера | 50-550 мм |
| Высота конвейера | 900±20 мм |
| Направление конвейера | слева направо |
| Доза излучения | <1 мкЗв/ч |
| Управляющий ПК | i7-7700K \ 16G \ 256GB SSD \ NVIDIA RTX 2060S 8G \ монитор 23.6" |
| Операционная система | Windows 10, 64 bits |
| Язык интерфейса | английский |
| Электропитание | 220 В, 50 Гц |
| Мощность системы | 5,5 кВт |
| Габариты системы (ДхШхВ) | 1870х2150х2300 мм |
| Масса системы | 4950 кг |