Перемещение рабочего стола с ПП по осям X/Y | ||||
Перемещение детектора по оси Z, наклон, перемещение вокруг инспетируемой области | ||||
Ручной и автоматический режимы работы | ||||
Сохранение результатов инспекции | ||||
Регулировка ширины конвейера | ||||
Интерфейс SMEMA |
Тип трубки | открытая |
Напряжение трубки | 20-160 кВ |
Максимальный ток трубки | 1000 мкА |
Максимальная мощность трубки | 64 Вт |
Мощность на мишени | 15 Вт |
Угол луча | 170° |
Фокальное расстояние (FOD) | <300 мкм |
Максимальное разрешение (режим Nanometer) | <0,9 мкм |
Максимальное разрешение (режим Nano2) | <0,6 мкм |
Максимальное разрешение (режим Micron) | <2 мкм |
Максимальное разрешение (режим High power) | <5 мкм |
Тип детектора | плоскопанельный (FPD) |
Поле зрения детектора (FOV) | 130х130 мм |
Пиксельная матрица | 1536х1536 |
Разрешение детектора | 5,8 лп/мм |
Частота кадров изображения | 20 кадр/с |
Разрешение камеры | 1080p (1920×1080) |
Частота кадров | 30FPS |
Угол обзора | 90° |
Режим фокусировки | автофокус |
Цифровое увеличение | 4х |
Габариты ПП | 50х50 - 610х510 мм |
Толщина ПП | 1-30 мм |
Фиксация краев ПП | ≥12 мм |
Максимальный вес платы | 30 кг |
Скорость конвейера | 0-500 мм/с |
Зазор над/под ПП | 180/70 мм |
Увеличение изображения | 4800х |
Угол поворота детектора | 60° |
Вращения изображения | 360° |
Перемещение детектора по оси Z | 0-260 мм |
Перемещение детектора по оси X/Y | 0-200 мм |
Тип конвейера | роликовый |
Ширина конвейера | 50-550 мм |
Высота конвейера | 900±20 мм |
Направление конвейера | слева направо |
Доза излучения | <1 мкЗв/ч |
Управляющий ПК | i7-7700K \ 16G \ 256GB SSD \ NVIDIA RTX 2060S 8G \ монитор 23.6" |
Операционная система | Windows 10, 64 bits |
Язык интерфейса | английский |
Электропитание | 220 В, 50 Гц |
Мощность системы | 5,5 кВт |
Габариты системы (ДхШхВ) | 1870х2150х2300 мм |
Масса системы | 4950 кг |