Установка односторонней шлифовки и полировки AMSL/P-400F
Описание
Установка предназначена для обработки Si, SiC, GaAs, GaN, InP, карбида вольфрама, спеченного металла (керамика), твердых металлов, бронзы, алюминия, кварца, хрусталя, сапфира, оптического стекла, MLCC, LTCC, HTCC, керамических подложек, циркония, пластиков и композитов, пьезоматериалов, алмазных режущих дисков, ферритов.
Основные особенности:
| Компактный размер |
| Защита рабочей зоны и чистой комнаты от частиц специальным шкафом |
| Цифровой таймер и счетчик скорости (оборотов в минуту) |
| Мягкий пуск и останов |
| Система охлаждения для обеспечения высокого показателя плоскостности в течение длительного времени |
| Защита хрупких подложек и пластин от механических повреждений |
| Плавающая рабочая станция для поправки на скорость для поверхности пластины |
| Высокоточный диск для полирования и точная механическая система для тонкой обработки пластин |
Остальное оборудование для шлифовки, полировки и планаризации полупроводниковых пластин и подложек Вы можете просмотреть в нашем каталоге.
Спецификация
| Привод | сервопривод переменного тока |
| Скорость | 5 ~ 150 об/мин |
| Размер полировального круга | Ø400 мм x 30 мм |
| Материал | Чугун/Медь/Нержавеющая сталь |
| Рабочая станция | 2 шт |
| Размер держателя | Ø150 x 15 мм |
| Рабочие колебания | 60 Вт (приводные) |
| Длина | ±20 мм |
| Максимальный размер рабочей области | Ø150 мм |
| Вакуумный держатель (внешний х внутренний диаметр) | 200 мм x 180 мм (Алюминий и керамика) |
| Кожух вокруг рабочей области | Алюминиевый профиль и акриловые окна (опция) |
| Метод давления | мертвый груз |
| Контроллер | ПЛК с сенсорным экраном |
