Автоматическая установка для разварки кристаллов, AB589
Описание
Оборудование предназначено для соединения полупроводниковых кристаллов с подложками с использованием тонкой алюминиевой проволоки.
Является полным аналогом системы ASM.
Основные особенности:
| Высокая производительность при формировании проволочных соединений. |
| Запатентованая система визуального распознавания, обеспечивающая быстрое и точное выравнивание. |
| Вращающаяся сварочная головка гарантирует надёжную и стабильную работу. |
| Большая рабочая зона |
| Возможность использования различной оснастки для фиксации изделий. |
Спецификация
| Параметр | Значение |
| Производительность | 6,5 соединений/с |
| Максимальное перемещение по оси Z | 15 мм (0,59") |
| Максимальный угол поворота θ | ±190° |
| Диаметр алюминиевой проволоки | 17,8 – 50,8 мкм (0,8 – 2,0 мил) |
| Диаметр золотой проволоки (опционально) | 25,4 мкм (1,0 мил) |
| Угол подачи проволоки | 30° (опционально 45°) |
| Зазор между головкой и поверхностью | 5 мм (0,20") |
| Сила прижима | 10 – 200 г (программируется) |
| Сила зажима проволоки | 30 – 200 г (программируется) |
| Время прижима | 0 – 255 мс (программируется) |
| Мощность прижима | 0 – 1 Вт (программируется) |
| Уровень петли (loop level) | программируемый |
| Время цикла | 155 мс (при длине проволоки 2 мм) |
| Диапазон длины проволоки | 0,8 – 8,0 мм (при проволоке 1,0 мил) |
| Рабочая зона | 203,2 x 152,4 мм (8” x 6”) |
| Максимальная длина выводов | 30 мм (1,2”) |
| Оптическое увеличение | 4,3Х (программируемая фокусировка) |
| Поле зрения (FOV) | 1,2 x 0,9 мм (47 x 35 мил) |
| Программируемый диапазон поиска | XY: 1,6х1,2 мм |
| Опорные точки выравнивания кристалла и подложки | 0 или 2 точки |
| Количество шаблонов | 400 (стандартный шаблон 64 x 64 при θ = 0°) |
| Размер шаблона | от 64 x 64 до 256 x 256 (программируется) |
| Количество программ | >500 (USB), 1000 (HD) |
| Максимальное количество узлов на программу | до 256 |
| Максимальное количество ПП на узел | до 50 |
| Максимальное количество кристаллов на узел | до 100 |
| Максимальное количество светодиодов на программу | до 1 500 |
| Максимальное количество соединений на программу | до 10 000 |
| Электропитание | 230 В, 50/60 Гц, 2,5 А, 400 Вт |
| Пневмопитание | > 5 бар |
| Опция | Вход для вакуума |
| Габариты (ДхШхВ) | 1170х800х2020 мм |
| Масса | 550 кг |
